Mr M.

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"MEMS Alors!"

 

 

Journée placée sous le soleil de la microfabrication en salle blanche avec un petit TP de 6h. Journée placée également sous le soleil tout court puisqu'il fait BEAU et (presque) CHAUD dans cette bonne vieille ville de Montréal (enfin pas a 6h du mat quand il faut se lever pour aller se farcir ces 6h de cours justement par une température de 6 degrés ... ça fait beaucoup de 6 tout ça ...).

"Microfabrication?" me direz-vous. Je repondrai "Microfabrication!", me pressant d'ajouter un fanfaron "MEMS!". Point d'insultes québécoises déguisées, je vous rassure, simplement l'acronyme de "Microelectromechanical Systems" (microystèmes électromécaniques, suivez le lien pour un apercu des caractéristiques de ces si petites choses). En bref et en resumé, l'objectif est de construire des petits bidules fonctionnels tels que peigne électromécanique, pince et autre bras de levier, avec les technologies de fabrication des circuits intégrés.

Pince de 200 μm (0,2 mm) pour se tirer UN poil (~ même taille) 

Taille relative des MEMS avec un acarien de 200 μm (et dire que c'est gros par rapport à la plus petite résolution atteignable aujourd'hui: on peut fabriquer deux traits parallèles distants d'environ 70nm de distance, soit 0,00007 mm)

Pour faire simple, et pour ne pas perdre le (j'hésite à mettre "les") lecteur par des considérations oiseuses, je résumerais l'activité sus-citée par: "Pouf! Je dépose du métal! Pan! Je résine! Poum! J'illumine! Bang! Je grave! Toc! Je fais le malin avec mon microscope électronique à balayage!". Résumé bref mais finalement on ne peux plus explicite.

La première des difficultés rencontrées est de s'habiller. Non, non, ne riez pas. Cela peut s'avérer plus difficile qu'il n'y parait. On ne rentre pas avec ses grosses chaussures de randonnées dégueulasses, ses pellicules dans les cheveux et le nez qui goutte dans un tel labo. La microfabrication s'effectue en environnement ultra propre, ce qui signifie que la tenue propre complète - immortalisée par les pubs Intel, la bulle de plastique en moins - est de rigueur.

Deuxième challenge de la journée, nettoyer notre petite galette de silicium avec de gentille solution d'acide sulfurique concentrée (éviter de mettre sa main dessus, ca pique dur) et d'acide fluorhydrique. Pour ceux qui ne  connaissent pas, l'acide fluorhydrique est méchant, très méchant. Il ressemble à de l'eau, est inodore, sans saveur (pour autant qu'un type ai pu ingérer ce truc et ai eu l'envie de discourir de la saveur de sa mort prochaine) et ne fait pas mal quand on s'en verse sur la peau. Jusque là, il fait pale figure le bougre. Seulement voilà, une fois que l'acide fluorhydrique a fait son chemin jusqu'au calcium de vos os, il le dissous. Autant dire que vous finissez très très mal, à gemir tandis que la totalite de vos os se volatise rapidement ...

La sécurité du Québec Libre avant tout: on désigne l'étranger (c'est à dire moi ...) pour effectuer les manips. En cas de mort subite, l'ecole niera m'avoir jamais vu dans son enceinte :-)

Muni d'un joli tablier jaune, de gros gants de protection chimique et d'une visière de plexiglas pour garder mon teint de jeune fille intact, j'ai réussi:

1) A ne tuer personne.

2) A respecter la procedure à la lettre.

3) A faire de belles manipulations.

4) A faire tout ça avec une couche de buée impénétrable sur mes lunettes (masque oblige).

Une fois la phase de nettoyage, vient celle de depose de la resine (pas hyper passionnant à raconter, donc je zappe) puis celle de dépot de couche mince, avec un matériel top la classe, le pulvérisateur à magnétron pour métaux et évaporateur à canon d’électrons:

On dit merci Polytechnique Montreal pour permettre au gentils etrangers de manipuler des engins coutant des milliers de dollars!

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